Первая страница
Наша команда
Контакты
О нас

    Головна сторінка



Тензорезистивні перетворювачі механічних величин

Скачати 97.65 Kb.

Тензорезистивні перетворювачі механічних величин




Скачати 97.65 Kb.
Дата конвертації10.06.2017
Розмір97.65 Kb.

http://antibotan.com/ - Всеукраїнський студентський архів

Тензорезистивні перетворювачі механічних величин

План

  1. Тензорезистивні перетворювальні елементи

  2. Вимірювальні кола тензорезистивних перетворювачів

  3. Класифікація тензорезисторів

  4. Тензорезистивні перетворювачі механічних величин




  1. Тензорезистивні перетворювальні елементи .

    Перетво́рювач - пристрій, елемент електричних, гідравлічних, пневматичних та інших схем, який перетворює один вид енергії на інший або сприяє цьому.

    Величина́ - одне з основних математичних понять, узагальнення понять довжина, розмір, площа, об'єм тощо. Неформально, величини – це те, що можна порівнювати між собою. Формально, це елементи впорядкованої множини.

    Механіка (від грец. Μηχανική, mechane - знаряддя, споруда, мистецтво побудови машин) - в загальному розумінні наука про механічний рух та рівновагу тіл і взаємодію, що виникає при цьому між тілами. Належить до природничих наук.

    Студе́нт (лат. studens, родовий відмінок studentis - «ретельно працюючий», «такий, що займається») - учень вищого, у деяких країнах і середнього навчального закладу.

    Основою принципу дії тензорезисторів є явище тензоефекту, суть якого полягає в зміні електричного опору провідникового матеріалу під час його механічної деформації.

    Тензорези́стор (від лат. tensus - напружений і від лат. resisto - чинити опір) - резистор, електричний опір якого змінюється залежно від його деформації. В основі принципу роботи тензорезисторів лежить явище п'єзорезистивного ефекту.

    Деформа́ція (від лат. deformatio - «спотворення») - зміна розмірів і форми твердого тіла під дією зовнішніх сил (навантажень) або якихось інших впливів (наприклад, температури, електричних чи магнітних полів).

    Принцип (лат. principium - начало, основа) - це твердження, яке сприймається як головне, важливе, суттєве, неодмінне або, принаймні, бажане. У повсякденному житті принципами називають внутрішні переконання людини, ті практичні, моральні та теоретичні засади, якими вона керується в житті, в різних сферах діяльності.

    Основною характеристикою чутливості матеріалу до механічної деформації є коефіцієнт відносної тензочутливості k, що визначається як відношення відносної зміни опору до відносного видовження провідника:

А опір провідника з питомим електричним опором , довжиною l та площею поперечного перерізу S дорівнює

У практиці електричних вимірювань тензоефект використовується у двох напрямках.

Коефіціє́нт - характеристика процесу, явища, речовини або поля, яка має відносно сталий характер.

Еле́ктрика (від грец. ήλεκτρον - бурштин; раніше також громови́на ) - розділ фізики, що вивчає електричні явища: взаємодію між зарядженими тілами, явища поляризації та проходження електричного струму.

Вимі́рювання - пізнавальний процес визначення числового значення вимірюваної величини, а також дія, спрямована на знаходження значення фізичної величини дослідним шляхом, порівнюючи її з одиницею вимірювання за допомогою засобів вимірювальної техніки.

Диференціа́льний пере́різ розсі́яння - це відношення числа частинок, розсіяних в тілесний кут d Ω до потоку частинок, які падають на мішень та до величини тілесного кута, густина ймовірності розсіяння в даний тілесний кут.

Це , по-перше, тензоефект в провіднику чи напівпровіднику в результаті об’ємного стискання. Вхідною величиною таких перетворювачів є тиск газу або речовини, що їх оточують.

Напівпровідники́ (англ. semiconductors) - матеріали, електропровідність яких має проміжне значення між провідностями провідника та діелектрика. Відрізняються від провідників сильною залежністю питомої провідності від концентрації домішок, температури та різних видів випромінювання.

Результат, пі́дсумок, (заст. ску́ток, вислід) - кінцевий наслідок послідовності дій. Можливі результати містять перевагу, незручність, вигоду, збитки, цінність і перемогу. Результат є етапом діяльності, коли визначено наявність переходу якості в кількість і кількості в якість.

Речовина́ - вид матерії, яка характеризується масою та складається з елементарних частинок (електронів, протонів, нейтронів, мезонів тощо). Характерною властивістю таких частинок є відмінні від нуля баріонний заряд або лептонний заряд.

На цьому принципі будуються перетворювачі високих та надвисоких тисків, які виготовляються у вигляді безкаркасної обмотки з манганінового дроту. Для низьких тисків застосовують германієвий чи кремнієвий тензорезистор.

Германій, Ґерманій, Ge (від лат. Germania - Німеччина) - хімічний елемент номер 32, крихкий сріблясто-білий металоїд. Найпоширеніший напівпровідник.

Силі́цій (Si) - хімічний елемент з атомним номером 14, проста речовина якого, кремній, утворює темно-сірі зі смолистим блиском крихкі кристали з гранецентрованою кубічною ґраткою типу алмазу. За новою номенклатурою IUPAC Силіцій належить до групи 14 періодичної системи елементів, за старою - до IV підгрупи основної групи.

Суть другого напрямку полягає у використанні тензоефекту, викликаного розтягненням чи стискуванням тензочутливого матеріалу. Перетворювачі цієї групи можуть бути виконані у вигляді наклеюваних дротяних тензоперетворювачів, фольгових, плівкових чи так званих навісних тензоперетворювачів.

Дротяний тензоперетворювач (рис. 1) має підкладку 1 з тонкого паперу або лакової плівки, на котру наклеюється тензочутливий елемент 2, виконаний із тензочутливого дроту, укладеного у вигляді плоскої одношарової решітки.

Рис.1 – Будова дротяного тензорезистора

До кінців тензочутливого дроту приєднані паян­ням чи зварюванням виводи 3 з тонкого мідного дроту.

Підкладка - термін, що використовується в матеріалознавстві для позначення основного матеріалу, поверхня якого піддається різноманітним видам обробки, в результаті чого утворюються шари з новими властивостями або ж нарощується плівка іншого матеріалу.

Звáрювання (рос. сварка, англ. welding; нім. Schweißen) - технологічний процес утворення нероз'ємного з'єднання між матеріалами при їх нагріванні та/або пластичному деформуванні за рахунок встановлення міжмолекулярних і міжатомних зв'язків.

Зверху перетворювач покритий шаром лаку 4. Такі тензоперетворювачі мають вимірювальну базу (довжину, зайняту дротяною решіткою) звичайно 3...30 мм, а їх опір становить 50...400 Ом. Тензоперетворювачі з малою базою (1...3 мм) роблять двошаровими і виготовляють, намотуючи тензочутливий дріт на трубчастий паперовий каркас, який після проклеювання розплющується і наклеюється на підкладку.

Основна похибка дротяних тензорезисторів може бути зведена до 0,2...0,1%.

У вимірювальних колах з тензорезисторами повинна бути передба­чена температурна компенсація.

Температу́ра (від лат. temperatura - належне змішування, нормальний стан) - фізична величина, яка описує стан термодинамічної системи.


2. Вимірювальні кола тензорезистивних перетворювачів

Здебільшого тензорезистори вмика­ються в мостові кола постійного струму. Якщо використовується мостове коло з одним робочим тензорезистором, то для температурної компенсації необхідно застосувати другий неробочий тензорезистор, аналогічний робочому і поміщений в однакові з робочим тензорезис-тором температурні умови.

Найвища теоретично можлива температура - планківська температура. Вища температура за сучасними фізичними уявленнями не може існувати, оскільки надання додаткової енергії системі, нагрітої до такої температури, не збільшує швидкості частинок, а лише породжує у зіткненнях нові частки, за цієї обставини кількість частинок у системі зростає й зростає маса системи. Вище за планківську температуру гравітаційні сили між частинками стають порівняними із силами решти фундаментальних взаємодій. Можна вважати, що це температура «кипіння» фізичного вакууму. Вона приблизно дорівнює 1.41679(11)×10 K (~ 142 нонільйони K).

Найвища температура, досягнута за участі людини, ~ 10 трлн К (що є порівнянним з температурою Всесвіту у перші секунди його існування) була досягнута у 2010 році під час зіткнення іонів свинцю, прискорених до світлових швидкостей. Експеримент було проведено на Великому адронному колайдері.

Анало́гія - (грец. αναλογια - «відповідність») - подібність, схожість у цілому відмінних предметів, явищ за певними властивостями, ознаками або відношеннями.

Кращою є схема з диференціальним (різни­цевим) увімкненням ідентичних тензорезисторів, якщо один з них за­знає деформації розтягу, а другий -- деформації стиску.


3. Класифікація тензорезисторів

Фольгові тензорезистори - це тонка стрічка з фольги товщиною 0,01...0,02 мм, на якій частина матеріалу вибрана (наприклад, травлен­ням) так, що та її частина, котра залишилась, утворює плоску решітку з виводами. Ця решітка закріплюється між двома плівками з лаку.

Поширені також плівкові тензорезистори, в яких тензочутливий елемент наноситься методом вакуумної сублімації (перегону) з подальшою конденсацією на плівку.

Конденса́ція - (рос. конденсация; англ. condensation; нім. Verdichtung f, Kondensation f, Kondensierung f, Wasserniederschlag m, Dampfniederschlag m) -

Для виготовлення плівкових тензо­резисторів застосовуються як металеві (наприклад, титаноалюмінієвий сплав), так і напівпровідникові (германій, кремній) матеріали.



Навісні тензорезистивні перетворювачі мають дротяний тензо­чутливий елемент у вигляді струни чи декількох струн, натягнених між двома планками, відносне переміщення яких є вхідною величиною.

Напівпровідникові монокристалічні тензорезистори виготовля­ються головним чином з германію та кремнію, які мають кубічну кристалічну ґратку.

Монокристал (англ. monocrystal, нім. Einkristall m) - кристал, структура якого неперервна й непорушна у всьому об'ємі. Як правило, монокристал - це кристалічна речовина, складена одним кристалом.

Переміщення - зміна положення якогось матеріального об'єкту. В фізиці - це переміщення фізичного тіла. Переміщенням також називають вектор, який характеризує цю зміну. Має властивість адитивності. Абсолютна величина переміщення, тобто довжина відрізка, що сполучає початкову й кінцеву точку, вимірюється в метрах у системі СІ та в сантиметрах у системі СГС.

Матеріа́л - речовина, або суміш речовин, первинний предмет праці, який використовують для виготовлення виробу (основний матеріал), або які сприяють якимось діям. У останньому випадку уточнюють, що це допоміжний, чи витратний матеріал.

Криста́л (англ. crystal, нім. Kristall m) - тверде тіло з упорядкованою внутрішньою будовою, що має вигляд багатогранника з природними плоскими гранями: впорядкованість будови полягає у певній повторюваності у просторі елементів кристала (атомів, молекул, йонів), що зумовлює виникнення т.зв.

Тензочутливість напівпровідни­кового тензорезистора залежить від орієнтації його чутливого елемента відносно кристалографічних напрямків.

Орієнтація, в класичному випадку - вибір одного класу систем координат, пов'язаних між собою «додатньо» в деякому певному сенсі. Кожна система задає орієнтацію, визначаючи клас, до якого вона належить.

Характерною особливістю напівпровідникових тензорезисторів є те, що характер функції перетворення за інших однакових умов зале­жить від питомого електричного опору тензорезистора. Нелінійність функції перетворення найменше проявляється в матеріалах з малим питомим електричним опором.

У серійних тензорезисторах застосовують здебільшого кремній.
4. Тензорезистивні перетворювачі механічних величин
4.1. Перетворювачі деформацій. Тензорезистори за принципом дії є перетворювачами механічних деформацій, тому безпосередньо вони застосовуються в засобах вимірювань деформацій. У таких випадках тензорезистор (рис. 2, а) тієї чи іншої конструкції приклеюється до досліджуваного об'єкта 1 так, щоби деформація об'єкта повністю сприй­малась тензорезистором. Виводи тензорезистора припаюють до контактної колодки 2, котра приклеюється також до досліджуваного об'єк­та. Для захисту тензорезистора від впливу зовнішніх чинників, а також для забезпечення стійкості до механічних пошкоджень тензорезистор і монтажну схему покривають спеціальною герметизуючою речовиною.

Як вже відзначалось, здебільшого вимірювальними колами тензо­резистивних перетворювачів є мостові кола постійного струму. Якщо використовується мостове коло з одним робочим тензорезистором , для температурної компенсації необхідно застосувати другий неробочий тензорезистор , аналогічний робочому і поставлений в однакові з робочим температурні умови (рис.

Найнижча температура, яка досягнута людиною, була отримана у 1995 році Еріком Корнеллом та Карлом Віманом із США під час охолодження атомів рубідію. Вона перевищувала абсолютний нуль менше ніж на 1/170 мільярдну частку кельвіна (5,9×10 K).

Поверхня Сонця має температуру близько 6000 K, а сонячне ядро - близько 15 000 000 K.

2, в). Якщо таке мостове коло при відсутності деформації буде знаходитись у рівновазі, тобто , то при наявності деформації опір зміниться, рівновага мостового кола порушиться і на виході з'явиться напруга, яка буде пропорційна величині деформації.

Якщо ж причиною зміни опору тензорезистора буде зміна темпе­ратури довкілля, то, оскільки тензорезистори ідентичні та знаходяться в однакових температурних умовах, їх температурні зміни будуть однаковими, тобто коли, наприклад, при відсутності деформації міст був зрівноважений, то зміна опорів двох ідентичних тензорезисторів RT та RTK, увімкнених у сусідні плечі моста, не призведе до порушення його умови рівноваги, а вихідна напруга залишиться нульовою.

9 грудня 2013 року на конференції Американського геофізичного союзу група американських дослідників повідомила про те, що 10 серпня 2010 року температура повітря в одній з точок Антарктиди опускалась до −135,8 °F (-93,2 °С). Цю інформацію було отримано за результатами аналізу супутникових даних НАСА. На думку автора повідомлення Т. Скамбоса (англ. Ted Scambos) отримане значення не підлягає реєстрації як рекордне, оскільки визначене у результаті супутникових вимірювань, а не за допомогою термометра.

Рекордно низьку температуру на поверхні Землі −89.2 °С було зареєстровано на радянській внутрішньоконтинентальній науковій станції «Восток», Антарктида (висота розташування 3488 м над рівнем моря) 21 червня 1983 року.

Компенсація впливу температури в такій схемі відзначатиметься і при наявності вимірюваної деформації.

Рекордно високу температуру повітря поблизу земної поверхні +56,7 ˚C було було зареєстровано 10 липня 1913 року на ранчо Грінленд у долині Смерті (штат Каліфорнія, США).



Рис. 2 – Тензорезистивні давачі механічних деформацій та способи їх ввімкнення в мостових колах

Перевагу треба віддавати давачам деформації (рис. 2, б) з чотир­ма тензорезисторами. Тут тензорезистори RT1 та RT2 сприймають вимірювану (поздовжню) деформацію , а тензорезистори RT3 та RT4-поперечну деформацію і можуть служити для темпера­турної компенсації (рис. 2, г).

Живляться мостові кола від стабілізованого джерела напруги, а вихідна напруга підсилюється за допомогою диференціального під­силювача з високим вхідним опором.

Джерело напруги або генератор напруги - елемент електричного кола, який забезпечує на своїх клемах певне значення напруги, яке не залежить від струму в колі. Іншим терміном, який застосовується в електриці, є джерело струму, що забезпечує певне значення сили струму в колі.

Треба також мати на увазі, що через неповну ідентичність тензорезисторів при відсутності вимірюва­ної деформації на виході моста може бути деяка початкова напруга, для регулювання якої застосовують шунтування термонезалежних опорів плеч моста. Однак таке регулювання є громіздким, а при використанні повного моста, тобто коли плечима моста є чотири робочі тензоре­зистори, нераціональним, бо призводить до зменшення чутливості.

Раціоналі́зм (від лат. ratio - розум) - філософська точка зору, яка наголошує першість і компетентність розуму (логічного ходу міркування) в пошуках правди. В історії філософії раціоналізм протиставляється емпіризму - філософській установці, яка кладе в основу пошуків істини досвід.

Особливістю наклеюваних тензорезисторів є те, що вони є перетворювачами разової дії, тобто не можуть бути переклеєні з об'єкта на об'єкт. Тому функція перетворення робочого тензорезистора не може бути визначена попередньо, а для її оцінки визначають функцію перетворення аналогічного, так званого градуювального перетворювача з тієї ж партії перетворювачів. Природно, що такий спосіб оцінки характеристик робочих тензорезисторів може бути застосований лише коли властивості перетворювачів всієї партії повністю ідентичні, а залишкові деформації, викликані приклеюванням робочих та градуювальних тензорезисторів, також однакові.

Залишко́ва деформа́ція (англ. residual strain) - деформація, що залишається після усунення навантаження, яке її викликало.

Практика свідчить, що по­хибка від неідентичності при старанному приклеюванні тензорезисторів та добрій якості клею звичайно не перевищує 1,5%.
4.2 Перетворювачі переміщень. Тензорезистори широко застосову­ються як перетворювальні елементи в засобах вимірювань переміщень, сил, тиску, вібрацій, прискорень. Первинними перетворювачами в названих засобах є механічні пружні елементи, які перетворюють вхідну вимірювану величину в деформацію, котра сприймається тензорезистором і перетворюється ним в зміну електричного опору.

Основні властивості тензорезистивних перетворювачів перемі­щень, як і перетворювачів інших названих величин, визначаються головним чином властивостями механічних пружних елементів. Тому залежно від значення перетворюваного переміщення, необхідної точ­ності та інших параметрів конструкції пружних елементів та конструк­ції перетворювачів переміщень загалом можуть бути найрізноманіт­нішими.

Н
Рис. 3 – Тензорезистивний перетворювач вертикальних переміщень

айпоширенішими є консольні перетворювачі переміщень. На рис. 3 показана конструкція консольного пере­творювача вертикальних переміщень у діапазоні від 2,5 до 25 мм. На досліджуваний об'єкт перетворювач закріплюють струбциною та з'єднують з нерухомою точкою.

Струбци́на (нім. Schraubzwinge) - затискний пристрій у вигляді П-подібної скоби з гвинтовим або іншим затискачем на одній з її сторін.

Діапазо́н (від грец. δϊα πασον (χορδων) - через усі (струни).

Нерухома точка відображення множини в себе - точка, яка відображається сама в себе.

Досліджуване переміщення передасться через рухомий шток 1 на пружний елемент 2 з тензо­резисторами 3, наклеєними по обидва боки консольної балки (з дефор­маціями різних знаків), що при увімкненні їх у сусідні плечі моста дає змогу збільшити чутливість та уникнути температурної похибки.

Насіння наземних рослин зберігають здатність проростати навіть після охолодження до −269 °C (наприклад мохи, папоротеподібні).

Консо́льна ба́лка або консо́ль (англ. cantilever) - балка, яка утримується в статичному положенні за допомогою лише однієї опори - жорсткого затиснення (защемлення) або частина балки іншого типу, що звисає за опори.

Основна похибка перетворювача не перевищує 2 %.
4.3 Перетворювачі сил. Тензорезистивні перетворювачі сил (тензодинамометри) широко застосовуються, оскільки вони компактні та мають широкий діапазон перетворень (від декількох міліньютон до десятків меганьютон). У перетворювачах великих сил (понад 10 кН) найчастіше використовуються стержневі пружні елементи (рис. 4, а). Перетво­рювач складається з циліндричного пружного елемента 1, на зовнішній поверхні якого наклеєні робочі тензорезистори 2, які сприймають вимірювану (поздовжню) деформацію, та тензорезистори 3, які сприй­мають поперечну деформацію і при ввімкненні їх у сусідні з робочими тензорезисторами плечі моста можуть використо­вуватись для температурної компенсації. Для рівномірного розподілу механічного напруження по перерізу пружного елемента в зоні тензорезисторів відношення висоти робочої частини пружного елемента до його діаметра повинно дорівнювати 3...4.

Цилі́ндр (грец. κύλινδρος - «валик») - тупа піраміда товстої форми

Напрýження (механі́чне напру́ження) - міра інтенсивності внутрішніх сил, розподілених по перетинах, тобто зусилля, що припадають на одиницю площі перетину тіла. В Міжнародній системі одиниць напруження обчислюють у паскалях, Па.



Рис.4 – Тензорезистивні перетворювачі сил (тензодинамометри)

Недоліком такої функції перетворювачів сил є помітний вплив нестабільності функції перетворення пружного елемента, яка досягає І...1,5 %, неповна компенсація впливу температури довкілля. Крім того, тензорезистори 3 можуть бути використані лише коли відоме спів­відношення між поздовжньою та поперечною деформаціями. Цей недолік може бути усунений застосуванням диференціального пруж­ного перетворювального елемента, що має два пружні перетворювальні елементи 4 та 5 (рис. 4, б) з протилежними за знаком та однаковими за значенням деформаціями.

4.4 Перетворювачі тиску та різниці тисків. У тензорезистивних перетворювачах тиску (тензоманометрах) як первинні перетворювальні елементи використовуються мембрани, сильфони та трубчасті системи.

У мембранних перетворювачах тиску деформація мембрани звичайно сприймається наклеєним на неї тензоперетворювачем безпо­середньо. Для одержання максимальної чутливості та термокомпенсації тензорезистори наклеюють у зонах максимальних деформацій різних знаків. Тензоманометри з плоскими мембранами відріз­няються простотою конструкції, однак вони чутливі до різких перепадів температур. Досконалішими є тензоманометри з гофрованими мембран­ними перетворювачами тиску 1, центри яких з'єднані з тензорезистивними перетворювачами сили у вигляді консольних балок 2 з накле­єними на них тензорезисторами (рис. 5, а) або з кільцевими пружними перетворювальними елементами сили в деформацію (рис.5, б). В останньому випадку вимірюваний тиск через отвір в штуцері 1 діє на еластичну мембрану 2 та сферичну подушку 3, внаслідок чого кільцевий пружний елемент 4 деформується, викликаючи деформацію тензорезисторів 4 та 5.

Рис. 5 – Тензорезистивні перетворювачі тиску

Верхні границі перетворень розглянутих вище тензоманометрів становлять від 0,1 до 10 МПа. На рис.6 показана конструкція тензорезнстивного давача різниці тисків типу "Сапфір".

Рис. 6 - Тензорезистивний перетворювач різниці тиску

Давач має первинний мембранно-важільний перетворювач різниці тисків 1, розділювальні мембрани 2 і 3, з'єднані між собою та з кінцем важеля первинного перетворювача за допомогою тяги 4.



Дія вимірюваної різниці тисків Р1 > Р2 призводить до переміщення тяги і, відповідно, кінця важеля, деформації мем­брани із монокристалічного сапфіру, на зовнішню поверхню якої нанесена тензочутлива гетероепітаксіальна плівка крем­нію. Тензорезистори через гер­метичний вивід під'єднуються до вторинного перетворювача, що входить до складу "Сапфіра" і служить для перетворення зміни опору тензорезисторів у вихідний уніфікований струм.

Останнім часом все більше застосовують перетворювачі тиску з напівпровідниковими тензорезисторами. Мініатюрний (діаметром 10.. 15 мм) перетворювач тиску (рис.7,а) має мембранний первинний перетворювач тиску 1.



Рис. 7 – Перетворювачі тиску з напівпровідниковими тензорезисторами

Переміщення центру мембрани, викликане вимі­рюваним тиском, передається за допомогою штока 2 на консольну балку 3, на котрій склоприпоєм закріплені напівпровідникові тензорезистори 4 у вигляді ниткоподібного кристала кремнію р-типу з орієнтацією з платиновими струмовиводами.

Для вимірювань дуже високих тисків (до Па) використо­вують звичайно ефект об'ємного стискання тензорезистора. Чутливим елементом 1 мініатюрних давачів даного типу (рис.7, б) може бути ниткоподібний кристал, наприклад, з антимоніду галію п-типу. Один з виводів припаяний до ізольованого від корпуса 2 гермовводу 3, інший - до самого корпуса. Фторопластовий ковпачок 4 виконує роль розділювальної мембрани. Внутрішня порожнина з чутливим елементом запов­нена трансформаторною оливою, за допомогою якої вимірюваний тиск передається на чутливий елемент,

Література

Поліщук Є.С.

Трансформа́торна оли́ва або Трансформа́торне ма́сло - мінеральне масло (олива) високої чистоти і малої в'язкості, що отримується шляхом очищення фракцій нафти. Застосовується для заливання силових і вимірювальних трансформаторів, реакторного обладнання, а також масляних вимикачів.

Методи та засоби вимірювань неелектричних величин: підручник. – Львів: Видавництво Державного університету „Львівська політехніка”, 2000. 360с.(с45-86)






Скачати 97.65 Kb.

  • 2. Вимірювальні кола тензорезистивних перетворювачів
  • 3. Класифікація тензорезисторів
  • 4. Тензорезистивні перетворювачі механічних величин